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射频电源

13.56MHz 1kW/1.5kW/2kW全固态射频电源

发布时间:2011-08-31

  1kW射频功率源作为等离子体的驱动装置,该产品具有强大快速的保护能力,为整机的安全性提供了可靠的保证。另外整机采用先进的可编程逻辑控制器作为控制系统,稳定高效易操作。

 

技术指标

 

 频率   13.56MHz
 输出功率  1kW
  输出阻抗  50Ω
  负载驻波比  2:01
  输出谐波抑制  40Db
  脉冲调制频率  1︿50kHz
  占空比  5%︿95%
  脉冲上升沿  2.5µs
  水冷方式